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全自动贴膜机

晶圆尺寸:6、8寸,                 晶圆厚度: 100~750um    
晶圆种类: 硅、砷化镓或其他材料    
胶膜种类:蓝膜或UV膜
上下料方式:输入料盒输出料盒       
晶圆台盘:特氟隆防静电涂层接触式台盘;
贴膜原理:防静电滚轮贴膜           
晶圆台盘温度: 室温~100°(可选)    
贴膜精度: X-Y±0.25mm,θ±0.5°   
校对准:X-Y-θ偏移补偿,非接触光束传感器

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